MEMS技术是从光通信领域发展起来的吗？

MEMS的概念最早在1960年代提出来，但是一直到1980年代才真正进入商业化。工程师和科学家们想基于集成电路制造技术来做MEMS，最好是能做到一片芯片上。MEMS最早的商业应用案例之一是喷墨打印机墨盒上的小喷嘴。每台打印机打印头上的喷嘴包括了一个中空的腔。打印用的墨流到其中，利用微小的电加热器加热，然后通过喷口喷出。这个空腔就是基于同集成电路一样的光刻技术制造的。

1982年，汽车的气囊系统（最早在1950年代推出）也开始利用MEMS技术来检测是否有碰撞发生。最早是模拟器件公司（Analog Devices）进一步发展了这个想法，1991年，这家公司开发出用于气囊系统的加速器芯片用于检测突然的车速下降，其中机械和电子部分都集成在一个芯片上。后来他们还开发出用于汽车的全球定位系统的片上陀螺仪。

信息来源
https://ethw.org/MEMS#:~:text=MEMS%20were%20first%20proposed%20in%20the%201960s%2C%20but,connected%20to%20electronic%20circuits%20on%20the%20same%20chip.